HJT电池片硅片搭边检测 | 三维激光轮廓测量仪行业应用 | 深视智能中国官方网站

HJT电池片-硅片搭边检测
HJT电池片-硅片搭边检测

HJT电池片-硅片搭边检测

行业痛点与需求

硅片在载盘搭边重叠时,会出现上下料工序机械手吸盘压碎硅片,造成硅片破损,若碎片异物进入,经过高温制程容易污染真空腔体,影响产量以及增加维修成本,因此需要对载盘上硅片搭边情况进行管控。

深视智能激光三维轮廓测量仪SRI7700具备超高分辨率,可清晰识别载具内硅片交叠、载具与硅片边缘搭边等情况,高度集成,无需控制器,漏检率0.002%,节省设备50%以上安装空间相机精度更高,速度更快,线上批量漏检率与过检率更低。

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