3D相机检测硅棒尺寸 | 三维激光轮廓测量仪,行业应用 | 深视智能中国官方网站

3D相机检测硅棒尺寸
3D相机检测硅棒尺寸

3D相机检测硅棒尺寸

行业痛点与需求

硅棒由于其出色的性能被广泛应用于太阳能电池制造领域,其中,硅棒制作完成后可能存在外观裂纹、空洞、气泡、内部杂质等缺陷,因此需要进行严格的质量控制测试,才能应用于后续的生产中。

深视智能三维激光轮廓测量仪SR7060可对硅棒进行尺寸、弧长、垂直度等多项目的检测,使用多台测量仪扫描,采用图像算法拼接技术形成硅棒的完整图像,项目精度达0.02mm。

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优势&特点

01检测速度可达2500~10000Hz,X 轴轮廓点数3200
02SR7060线性精度±0.05%的F.S.
03相机稳定性高,可结合2D灰度图像计算

相机选型

型号
SR7060
参考距离(CD)60mm
测量范围Z 轴高度(FS)9.5mm
X 轴宽度近端41.5mm
参考距离44mm
远端46.5mm
光源光源波长405nm蓝光
激光器等级2M
激光器输出功率10mW
重复精度Z 轴(高度)0.3μm
X 轴(宽度)4μm
线性Z 轴(高度)±0.05%的F.S.
轮廓数据间隔X 轴(宽度)15μm
X 轴轮廓点数3200
反射角度(°)30
扫描速度(Hz)2500~10000
尺    寸(mm)156×98×55.2
重    量(g)750 
温度特性0.02%的 F.S./℃ 
编码器输入支持单端、差分编码器 
输入输出1个100Base-TX/1000Base-T以太网接口
工作温度0~50℃
储存温度

-20~70℃

工作湿度35%~85% 无凝露
ESD防护接触放电4kV、空气放电8kV,符合IEC 61000-4-2标准
EFT防护电源端口2kV/5或100kHz、信号端口1kV/5或100kHz,符合IEC 61000-4-4标准
冲    击每轴50Gs/3ms,符合IEC 68-2-27 Ea标准
振    动10Gs (10-500Hz) ,符合 IEC 68-2-6 Fc 标准 
外壳防护等级IP67,符合IEC 60529标准