3D相机检测硅棒尺寸
行业痛点与需求
硅棒由于其出色的性能被广泛应用于太阳能电池制造领域,其中,硅棒制作完成后可能存在外观裂纹、空洞、气泡、内部杂质等缺陷,因此需要进行严格的质量控制测试,才能应用于后续的生产中。
深视智能三维激光轮廓测量仪SR7060可对硅棒进行尺寸、弧长、垂直度等多项目的检测,使用多台测量仪扫描,采用图像算法拼接技术形成硅棒的完整图像,项目精度达0.02mm。
优势&特点
01检测速度可达2500~10000Hz,X 轴轮廓点数3200
02SR7060线性精度±0.05%的F.S.
03相机稳定性高,可结合2D灰度图像计算
相机选型
型号 | SR7060 | |||
参考距离(CD) | 60mm | |||
测量范围 | Z 轴高度(FS) | 9.5mm | ||
X 轴宽度 | 近端 | 41.5mm | ||
参考距离 | 44mm | |||
远端 | 46.5mm | |||
光源 | 光源波长 | 405nm蓝光 | ||
激光器等级 | 2M | |||
激光器输出功率 | 10mW | |||
重复精度 | Z 轴(高度) | 0.3μm | ||
X 轴(宽度) | 4μm | |||
线性 | Z 轴(高度) | ±0.05%的F.S. | ||
轮廓数据间隔 | X 轴(宽度) | 15μm | ||
X 轴轮廓点数 | 3200 | |||
反射角度(°) | 30 | |||
扫描速度(Hz) | 2500~10000 | |||
尺 寸(mm) | 156×98×55.2 | |||
重 量(g) | 750 | |||
温度特性 | 0.02%的 F.S./℃ | |||
编码器输入 | 支持单端、差分编码器 | |||
输入输出 | 1个100Base-TX/1000Base-T以太网接口 | |||
工作温度 | 0~50℃ | |||
储存温度 | -20~70℃ | |||
工作湿度 | 35%~85% 无凝露 | |||
ESD防护 | 接触放电4kV、空气放电8kV,符合IEC 61000-4-2标准 | |||
EFT防护 | 电源端口2kV/5或100kHz、信号端口1kV/5或100kHz,符合IEC 61000-4-4标准 | |||
冲 击 | 每轴50Gs/3ms,符合IEC 68-2-27 Ea标准 | |||
振 动 | 10Gs (10-500Hz) ,符合 IEC 68-2-6 Fc 标准 | |||
外壳防护等级 | IP67,符合IEC 60529标准 |