晶圆片平整度检测
行业痛点与需求
晶圆片的平整度不足会导致封装过程的热应力发生变化，影响芯片的正常使用，因此对晶圆片表面光洁度的要求都非常高。采用深视智能高精度位移传感器SG5000系列，支持镜面反射型安装，可在晶圆片上多点取值判断平整度。
优势&特点
01SG系列最高采样频率可达590kHz
02静态重复精度可达0.02μm
03光亮自动调节，适用各种检测环境
相机选型
| 型号 | SG5020/SG5025 | ||
| 参考距离（CD） | 20mm | ||
| 测量范围 | -3mm~3mm | ||
| 光源 | 光源波长 | 655nm | |
| 激光器等级 | 2类 | ||
| 激光器输出功率 | 5mW | ||
| 光点直径（光斑尺寸） | 小光点 | Φ45μm | |
| 宽光点 | 45*400μm | ||
重复精度① | 0.02μm | ||
| 线性度 | ±0.02%的 F.S. | ||
| 温度特性 | 0.01%的 F.S./℃ | ||
| 采样频率（Hz） | 1/2/5/10/20/50/88/200/400/590kHz(可选10种级别) | ||
| 输入输出 | 通信端口 | 1 个 100Base-TX/1000Base-T 以太网接口，1 个 RS232 | |
| 模拟量输出 | 1 路模拟量输出，支持模拟电压和模拟电流切换 | ||
| 编码器输入 | 1 组差分编码器 | ||
| IO 输入 | 14路，支持计时、归零、重置、激光控制、配方切换等功能 | ||
| IO 输出 | 16路，判定状态输出 | ||
| 储存温度 | -20～70℃ | ||
| 工作温度 | 0～50℃ | ||
| 工作湿度 | 35%~85%无凝露 | ||
| EFT防护 | 电源端口2kV/5或100kHz、信号端口1kV/5或100kHz，符合IEC 61000-4-4标准 | ||
| ESD防护 | 接触放电4kV、空气放电8kV，符合IEC 61000-4-2标准 | ||
| 振 动 | 10Gs (10-500Hz) ，符合 IEC 68-2-6 Fc 标准 | ||
| 冲 击 | 每轴50Gs/3ms，符合IEC 68-2-27 Ea标准 | ||
| IP 等 级 | IP67，符合IEC 60529标准 | ||
| 尺寸（mm） | 60*61*41 | ||
| 数据线（配线）型号 | SCB-GICAM-HA2-3m/5m/10m | ||
| 重量（包括线缆） | 324g | ||